Ansätze zur Personalbesteuerung sind in den kirchlichen Personalzehnten (decimae personales) des Mittelalters sowie in den territorialen Kopfsteuern zu suchen, die sich aus fixierten Personalsteuern zu gestaffelten Standessteuern – wie im 17. Jahrhundert z. B. der preußische Kopfschoß – entwickelten. Die erste deutsche Einkommensteuer moderner Art wurde 1811 bis 1813 in Ostpreußen erhoben; sie war schon 1808 von Minister Freiherr vom Stein in Anlehnung an die englische income tax von 1799 als Kriegsabgabe empfohlen worden. Unter Hardenberg führte Preußen 1820 eine Klassensteuer ein, die bei der Steuerstaffelung nach äußeren Wohlstandsmerkmalen an die Gruppierung der Stände anknüpfte und zwischen der Einkommen- und der Kopfsteuer „die Mitte halten“ sollte; sie wurde 1851 für die höheren Einkommen von einer klassifizierten Einkommensteuer abgelöst und 1891 unter Finanzminister Miquel durch eine vorbildlich gewordene Einheits-Einkommensteuer mit Erklärungspflicht und Progression ersetzt. Diesem Vorbild folgten bis zum Ersten Weltkrieg alle deutschen Bundesstaaten, nachdem Hessen bereits 1869 und Sachsen 1874 zu einer allgemeinen Einkommensteuer übergegangen waren.
Im Zuge der Erzbergerschen Finanzreform zu Beginn der Weimarer Republik trat 1920 an die Stelle von 27 Landeseinkommensteuern eine einheitliche Reichseinkommensteuer, die bei den Steuerreformen von 1925 und 1934 fortentwickelt wurde.
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